Pfeiffer Vacuum stellt neues trockenes Verfahren zur Überwachung von Partikelverunreinigungen ADPC 302 vor
• Effiziente Überwachung von Partikeln in FOUPs und FOSBs in der Halbleiterproduktion
• Einzigartig schnelle und trockene Methode
• Komplett automatisiert und in den Prozess integriert
Asslar, 3. Juli 2013. Das ADPC 302 von Pfeiffer Vacuum ist ein einzigartiges produktionsbegleitendes Kontaminationsmanagement-system zur Überwachung von Partikelverunreinigungen in der Halb-leiterindustrie. Dieses innovative Produkt misst die Anzahl der Partikel in Wafer-Transportboxen (Front Opening Unified Pod, kurz FOUP, sowie Front Opening Shipping Box, kurz FOSB). Das patentierte vollautomati¬sche Verfahren erkennt und zählt Teilchen auf der Oberfläche der Trans¬portboxen einschließlich der Türen.
(industrietreff) - Das ADPC 302 von Pfeiffer Vacuum ist ein einzigartiges produktionsbegleitendes Kontaminationsmanagement-system zur Überwachung von Partikelverunreinigungen in der Halb-leiterindustrie. Dieses innovative Produkt misst die Anzahl der Partikel in Wafer-Transportboxen (Front Opening Unified Pod, kurz FOUP, sowie Front Opening Shipping Box, kurz FOSB). Das patentierte vollautomati¬sche Verfahren erkennt und zählt Teilchen auf der Oberfläche der Trans¬portboxen einschließlich der Türen.
Partikel in Submikrometergröße können auf den Wafern Schäden verur¬sachen, die zu einem beträchtlichen Ausbeuteverlust führen. Schon kleinste Teilchen mit einer Stärke im Bereich von 0,1 µm sind oft die Ursache für Beschädigungen der Strukturen der Halbleiterchips. Das System wurde von führenden Halbleiterherstellern qualifiziert und kann sowohl in der Serienproduktion als auch zu Analysezwecken im Bereich Forschung & Entwicklung einge¬setzt werden. Anwendungsschwerpunkte sind neben der Transportbox-Charakterisierung eine Optimierung der Dekontamina¬tionsstrategie sowie die Qualitätskontrolle der Reinigung.
Das trockene Verfahren (Dry Particle Counter) des ADPC zeigt ein-deutige Vorteile gegenüber der herkömmlichen nassen Methode (Liquid
Particle Counter). Der Hauptvorteil des trockenen Prinzips liegt darin, dass die Partikelmessung vollautomatisch abläuft. Sie ist in den Her-stellungsprozess eingebunden und muss nicht außerhalb der Produkti-onszeit durchgeführt werden. Durch diese vollautomatische Messung ist kein zusätzlicher Bediener erforderlich. Die Testdauer beträgt nur sieben Minuten. Damit ist das ADPC 302 viermal schneller als herkömmliche Systeme. Es können bis zu acht Transportboxen innerhalb einer Stunde geprüft werden.
Das System ADPC 302 zur Überwachung von Partikelverunreinigungen ergänzt das Angebot von Pfeiffer Vacuum an Lösungen zum Kontamina¬tionsmanagement für die Halbleiterindustrie. Die weiteren Systeme FOUP Analyzer APA und FOUP Regenerator APR dienen zur Überwa¬chung und Dekontamination von molekularer Verunreinigung. Der Automatisierungsstandard SECS/GEM wird durch alle drei Systeme unterstützt.
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Über Pfeiffer Vacuum
Pfeiffer Vacuum (Börsenkürzel PFV, ISIN DE0006916604) ist ein weltweit führender Anbieter von Vakuumlösungen. Neben einem kompletten Programm an hybrid- und magnetgelagerten Turbopumpen umfasst das Produktportfolio Vorvakuumpumpen, Mess- und Analysegeräte, Bauteile sowie Vakuumkammern und -systeme. Seit Erfindung der Turbopumpe durch Pfeiffer Vacuum steht das Unternehmen für innovative Lösungen und Hightech-Produkte in den Märkten Analytik, Industrie, Forschung & Entwicklung, Beschichtung sowie Halbleiter. Gegründet 1890, ist Pfeiffer Vacuum heute weltweit aktiv. Das Unternehmen beschäftigt etwa 2.300 Mitarbeiter und hat über 20 Tochtergesellschaften.
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Datum: 03.07.2013 - 14:46 Uhr
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