Neue F+E-Lösung: Chemische Dampfphasenabscheidung (CVD) einfach gemacht
Oerlikon Leybold Vacuum erweitert das Angebot für Forschungs- und Entwicklungs-Experimentiersystem
Das Verfahren der chemischen Dampfphasenabscheidung (CVD – Chemical Vapor Deposition) wird von einer Vielzahl von Forschungs- und Entwicklungs-Laboratorien eingesetzt – insbesondere für die Synthese von Graphen-Kohlenstoffnanostrukturen, vertikal ausgerichteten Kohlenstoff-Nanoröhrchen oder Silizium-Nanodrähten. Oerlikon Leybold Vacuum bietet nun für diese Anwendung eine sichere, einfache und zum sofortigen Betrieb geeignete Lösung.
(industrietreff) - “In dieser Nano-Welt atomdicker Schichten sind schnelle und leicht reproduzierbare Experimente unabdingbar. Der CVD-Würfel von Oerlikon Leybold Vacuum bietet genau diese Eigenschaften in Form eines sehr kompakten und zuverlässigen Experimentiersystems”, verdeutlicht Prof. Dr. Mark Hermann Rümmeli vom Center for Integrated Nanostructure Physics (CINAP) IBS von der Sungkyunkwan Universität in Suwon, Republik Korea. Der Experte für Graphen-Forschung des IFW Instituts für Festkörper und Werkstoffforschung in Dresden hält die chemische Dampfphasenabscheidung (CVD) für eine der zuverlässigsten Methoden für die Herstellung großflächiger Graphenschichten auf Metallsubstraten mit unterschiedlichen Kohlenstoffquellen.
CVD-Würfel als Tischgerät
Das Tischgerät ermöglicht die Bildung von Graphen-Doppelschichten (bilayer graphene – BG) auf einem themoplastischen Polymer als feste Kohlenstoffquelle. Dieser Effekt wurde durch Rasterkraftmikroskopie (Atomic Force Microscopy – AFM) und optische Mikroskopie (Optic Microscopy – OM) nachgewiesen. Die Anwendung ebnet den Weg für neue Experimentieranordnungen, in denen unterschiedliche Feststoff-Kohlenstoffquellen einschließlich abweichender Polymerschichten und kleiner Moleküle als Ausgangsmaterial dienen können.
Bei Graphen handelt es sich um eine ebene Monoschicht wabenförmig angeordneter Kohlenstoffatome, die zweidimensional gepackt sind. Dieses Nanomaterial wurde in den vergangenen Jahren aufgrund seiner einzigartigen Eigenschaften einschließlich Ladungstransport sowie seiner thermischen, optischen und mechanischen Vorzüge umfangreich untersucht. Eine nachhaltige Umsetzung dieser Forschungsergebnisse wird zu Graphen- bzw. graphenbasierten Materialien führen, die eine wichtige Rolle in den Bereichen transparenter, flexibler Elektroden, Energiespeicher, chemischer Sensoren und organischer Elektroden spielen werden.
Die Forschungen ergaben unter anderem, dass die opto-elektrischen Eigenschaften von Graphen sehr stark vom Zielsubstrat abhängen. Daher sind die Dielektrika/Graphen-Systeme in der Lage, die Eigenschaften von suspendiertem Graphen nachzubilden, wobei die Überwindung der inhärenten Schwierigkeiten dieser suspendierten Proben ein aktuelles Thema im Bereich der sich schnell entwickelnden Nanotechnologie ist. Im Rahmen dieser experimentellen Studien wurde der thermische CVD Reaktor von Oerlikon Leybold Vacuum erfolgreich eingesetzt. Durch seine CVD-Express-Software erlaubt das System eine einfache, schrittweise Programmierung jedes Reaktionsschrittes.
Neben der gesteigerten Benutzerfreundlichkeit mit Plug-and-Play-Funktionalität bietet das System folgende Vorteile:
- Präzise, konfigurierbare Massendurchsatzregelung und Echtzeiterfassung überwachter Experimente.
- Softwaregesteuertes Flüssigkeits-Modul zur Sicherstellung verdampfter Flüssigkeitsmengen und zur Bereitstellung einer großen Anzahl von Reagenzien als flüssiges Ausgangsmaterial.
- Komplexe Experimentier-Einstellungen lassen sich speichern und für Reproduzierbarkeitstests wieder laden.
- Einzelzonen-Temperaturen von 1000 °C für den Ofen, Widerstandsheizung und Konstant-Temperatur- Reaktionszone.
- Sicherheitsalarme.
Der CVD-Würfel ist dadurch der kompakteste thermische CVD Reaktor auf dem Markt, extra konstruiert für die anspruchsvollsten Sicherheitsstandards von Forschungslaboren.
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Unternehmensinformation / Kurzprofil:
Oerlikon (SIX: OERL) zählt weltweit zu den führenden Hightech-Industriekonzernen mit einem Fokus auf Maschinen- und Anlagenbau. Das Unternehmen steht für innovative Industrielösungen und Spitzentechnologien für Textilmaschinen, Antriebe, Vakuum- und Solarsysteme, Dünnfilm-Beschichtungen sowie Advanced Nanotechnology. Als Unternehmen mit schweizerischem Ursprung und einer über 100-jährigen Tradition ist Oerlikon mit über 17 000 Mitarbeitern an mehr als 150 Standorten in 38 Ländern und einem Umsatz von CHF 4,2 Mrd. im Jahr 2011 ein Global Player. Das Unternehmen investierte 2011 CHF 213 Mio. in Forschung und Entwicklung. Mehr als 1 200 Spezialisten erschaffen Produkte und Services von morgen. In den meisten Bereichen ist das Unternehmen in den jeweiligen globalen Märkten an erster oder zweiter Position.
Oerlikon Leybold Vacuum stellt Vakuumpumpen für ein breites Spektrum moderner Produktions- und Analyseverfahren sowie für Forschungszwecke her. Die Kernkompetenzen von Oerlikon Leybold Vacuum sind applikationsgerechte Lösungen für die Vakuumerzeugung und die Prozessgasförderung. Anwendungsgebiete sind die Halbleiter- und Datenspeicherindustrie, die Analytik, aber auch zahlreiche klassische Industriezweige.
Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
Christina Steigler
Marketing & Communications
Bonner Straße 498
50968 Köln
Tel.: +49 221 - 347 1261
christina.steigler(at)oerlikon.com
www.oerlikon.com
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Datum: 22.07.2013 - 17:33 Uhr
Sprache: Deutsch
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Ansprechpartner: Oliver Schulz
Stadt:
Hürth
Telefon: 02233-9399270
Kategorie:
Forschung und Entwicklung
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